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微电子学与固体电子学专家——刘玉岭

时间:2012-08-25 14:37来源:河北人才网
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    刘玉岭,微电子学与固体电子学专家。1942年生,1966年毕业于南开大学化学系。教授,博士生导师,国家有突出贡献的中青年专家,河北工业大学微电子技术与材料研究所所长,微电子学与固体电子学学科带头人,纳米电子技术与中国表面工程常务理事,全国高校科技先进工作者。河北省高层次拔尖人才,河北省省管优秀专家,河北省学位评审委员会专家,河北省十大发明家,天津市劳动模范,天津市先进科技工作者,南开大学兼职教授,国务院“政府特殊津贴”享受者,第九、十、十一届全国政协委员,国家科技02重大专项项目技术负责人。


    刘玉岭教授在ULSI(超大规模集成电路)制备中化学机械抛光(CMP)技术与纳米材料以及多个工程领域的项目研究方面做出了突出的成就和贡献。他分别主持了ULSI制备衬底及多层布线中的介质与金属布线化学机械抛光技术与纳米抛光材料研究。在“ULSI衬底抛光机理与抛光液”研究中,首先确定了“快速、均蚀抛光动力学机理模型”,发明了小粒径、快速率、均腐蚀抛光技术,取得了显著的社会经济效益。70年代在我国首先主持“LSI(集成电路)性能与衬底材料关系”研究,确定了高温制程中衬底材料性能变化,并发明了“在扩散版图中的划片等非电作用区制出扩散窗口”,不增加工艺,显著提高了器件电性能、成品率和可靠性。他还主持了“外延材料与器件性能关系”研究,优化了材料参数,提高了器件优品率;主持研制了“硅外延BC技术”,并在901厂、774厂等多家企业规模应用;发明了“反向补偿优化法”,成为一种发明创造技法被编入高校教材“发明创造工程学”;主持了“FA/O活性剂在微电子工业中的应用”,被列为国家科技成果重点推广计划和国家级新产品;发明了具有13个螯合环无钠水溶性新型螯合剂,有效地解决了钠离子污染等。我省由刘玉岭教授领衔的技术团队承担的国家02重大专项项目“极大规模集成电路平坦化工艺与材料”, 目前已打破了美日在该领域的控制与制约,并经中芯国际应用试验证明多项参数达到或超过国际水平。


    刘玉岭教授在国内微电子制备技术及相关材料领域享有较高的声誉,在国际学术界也具有一定的影响。他曾任台湾微邦科技公司高级顾问,现正与美国硅谷技术中心合作,其“硅片无磨料抛光工艺技术研究”于1999年被国际经济评价(香港)中心评为世界华人重大科学技术成果。


    刘玉岭教授作为第一发明人,曾获国家发明奖5项,国家发明专利40多项,美国发明专利三项,国内外发明展奖9项,省部级科技进步奖23项;科研成果转化生产力达90%以上,拥有知识产权的技术及产品已在冀、京、津、沪、苏、浙等10多个省市的微电子分立器件引进生产线上取代了进口,推广面积占全国的60%以上,并已销往台湾,社会经济效益十分显著;国内外发表技术论文一百多篇,编写了《微电子技术工程》、《微电子化学技术基础》、《超大规模集成电路衬底材料性能及加工测试技术工程》、《洗净技术基础》、《实用发明创造工程学》、《压力传感器设计制造与应用》等独具特色的高校教材;培养硕士、博士、博士后60余名。
 

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分享到: (责任编辑:王翠玲)
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